Ngành công nghiệp bán dẫn sử dụng nhiều loại hợp kim ngoài thép không gỉ 304/316L thông thường để giải quyết những thách thức đặc biệt về khả năng chống ăn mòn, ổn định nhiệt độ cao và kiểm soát ô nhiễm ion. Chuyên môn của BENKOO METAL nằm ở việc cung cấp và xử lý toàn bộ loại vật liệu này.
Bảng dưới đây mở rộng danh mục vật liệu, nêu chi tiết các đặc điểm và ứng dụng chính của chúng trong sản xuất chất bán dẫn.
Danh mục vật liệu | Các lớp / số UNS điển hình | Đặc điểm chính & Luyện kim | Ứng dụng Fab bán dẫn sơ cấp |
Thép không gỉ Austenitic (Tiêu chuẩn) | 304/L (S30400/S30403), 316L (S31603), 316LVM (tan chảy chân không) | Khả năng chống ăn mòn nói chung tuyệt vời, khả năng định hình/khả năng hàn tốt. Cấp độ carbon thấp “L” chống lại sự nhạy cảm. Tan chảy chân không tăng cường độ tinh khiết. | Dây chuyền dịch vụ chung, cung cấp khí không quan trọng, áo khoác ngoài, các bộ phận kết cấu. 316L là chất nền cho hầu hết các hệ thống khí có độ tinh khiết cao. |
Thép không gỉ Austenitic (Nâng cao) | 904L (N08904), 6% Molypden (ví dụ: S31254, AL-6XN®/N08367) | Khả năng chống rỗ và ăn mòn kẽ hở rất cao (PREN cao). Hiệu suất vượt trội trong môi trường halogenua (clorua, florua). | Hệ thống nước siêu tinh khiết (UPW), dây chuyền làm phẳng cơ học hóa học (CMP), hệ thống hóa chất ướt có tính axit/kiềm mạnh. |
Thép không gỉ Ferritic | 444 (S44400), 446 (S44600) | Khả năng chống ăn mòn ứng suất clorua (SCC) tốt và tính dẫn nhiệt. Từ tính. | Các ứng dụng có nước làm mát hoặc môi trường dễ bị SCC do clorua gây ra, nơi austenit có thể bị hỏng. |
Thép không gỉ song công | 2205 (S32205/S31803) | Cấu trúc hỗn hợp austenite-ferit. Độ bền cao (~2x 316L), khả năng chống SCC clorua tuyệt vời. | Các kết cấu hỗ trợ, giá đỡ và đường dây tiện ích trong các khu vực công nghiệp nơi độ bền và khả năng chống ăn mòn đều rất quan trọng. |
Hợp kim dựa trên niken | Hợp kim C-276 (N10276), Hợp kim 625 (N06625), Hợp kim 600 (N06600) | Khả năng chống chịu đặc biệt đối với nhiều loại hóa chất oxy hóa và khử ăn mòn nghiêm trọng. Duy trì sức mạnh ở nhiệt độ cao. | Dịch vụ khắc nghiệt: ống lò (khuếch tán, LPCVD), buồng epitaxy, bộ phận xử lý axit mạnh (HF, HCl, H₂SO₄) hoặc nước thải plasma. |
Hợp kim đặc biệt và chính xác | Titan Gr. 2 (R50400), Hợp kim Titan-PTất cảadi, Niken 200/201 (N02200/N02201) | Titan: Khả năng chống ăn mòn vượt trội, nhẹ, tương thích với các hóa chất cực mạnh. | Titan: Buồng và dây chuyền dành cho các hóa chất cực mạnh (ví dụ: HCl đậm đặc, clo). |
Phương pháp tiếp cận lấy ứng dụng làm trung tâm và những ưu điểm chính của BENKOO METAL
Việc lựa chọn vật liệu chính xác là nền tảng cho tuổi thọ của hệ thống và tính toàn vẹn của quy trình. Các kỹ sư của BENKOO METAL làm việc với khách hàng để kết hợp hợp kim với các thách thức về hóa học, nhiệt và độ tinh khiết cụ thể của ứng dụng, đảm bảo hiệu suất đáng tin cậy và tiết kiệm chi phí.
Chất lượng và tính nhất quán trên tất cả các hợp kim: Cho dù cung cấp hợp kim niken 316L tiêu chuẩn hay phức tạp, BENKOO METAL đều thực thi cùng một quy trình chất lượng nghiêm ngặt. Chúng tôi đảm bảo thành phần hóa học chính xác, dung sai kích thước và—đối với các ứng dụng quan trọng—cung cấp lớp hoàn thiện Đánh bóng bằng điện (EP) hoặc Đánh bóng cơ học (MP) với độ nhám bề mặt và số lượng hạt thấp đã được xác minh.
Cung cấp đáng tin cậy và giao hàng nhanh cho các vật liệu đặc biệt: Chúng tôi duy trì quan hệ đối tác chiến lược với các nhà máy cao cấp và quản lý hàng tồn kho có kiểm soát đối với các hợp kim cấp bán dẫn quan trọng. Điều này cho phép BENKOO METAL cung cấp thời gian sản xuất có thể dự đoán được và nguồn cung cấp ổn định ngay cả đối với những vật liệu ít phổ biến hơn, giảm thiểu rủi ro dự án và đảm bảo lịch trình mở rộng nhà máy hoặc lắp đặt công cụ của bạn luôn đúng tiến độ.
Tài liệu đầy đủ và truy xuất nguồn gốc: Tất cả các vật liệu đều được cung cấp đầy đủ Chứng chỉ Kiểm tra Nhà máy (MTC) và khả năng truy xuất nguồn gốc vật liệu (Số nhiệt). Đối với ống EP/MP, chứng nhận bổ sung bao gồm báo cáo độ nhám bề mặt (Ra) và hồ sơ đóng gói trong phòng sạch được cung cấp, hỗ trợ các yêu cầu kiểm tra và đảm bảo chất lượng của bạn.
Hãy liên hệ với BENKOO METAL để tham khảo ý kiến của các chuyên gia kỹ thuật của chúng tôi. Chúng tôi sẽ giúp bạn xác định vật liệu và thông số kỹ thuật tối ưu từ danh mục toàn diện của chúng tôi cho ứng dụng hệ thống xử lý, hóa chất hoặc khí bán dẫn cụ thể của bạn.
Nếu bạn có bất kỳ yêu cầu về thiết bị nướng thịt cắm trại, xin vui lòng cảm thấy free to contact us.
